Вторично-ионная масса спектрометрия

Вторично-ионная масса спектрометрия

Калужский Филиал

Московского Государственного

Технического Университета

им. Н. Э. Баумана

Кафедра Материаловедения и Материалов Электронной Техники

КУРСОВАЯ РАБОТА

по курсу МИМ и КЭТ

на тему:

“Вторично-ионная

масс-спектрометрия“

выполнил: студент гр. ФТМ—81

Тимофеев А. Ю.

проверил:

Леднева Ф. И.

г. Калуга

1997 год.

Содержание

Введение 3

Взаимодействие ионов с веществом 3

Вторично-ионная эмиссия 5

Оборудование ВИМС. 8

Принцип действия установок. 9

Установки, не обеспечивающие анализа распределения частиц по поверхности

10

Установки, позволяющие получать сведения о распределении

11

элемента по поверхности, со сканирующим ионным зондом

Установки с прямым изображением 11

Порог чувствительности 12

Анализ следов элементов

14

Ионное изображение

16

Требования к первичному ионному пучку 17

Масс-спектрометрический анализ нейтральных 18

распыленных частиц

Количественный анализ 19

Глубинные профили концентрации элементов 22

Приборные факторы, влияющие на разрешение 23

по глубине при измерении профилей концентрации

Влияние ионно-матричных эффектов на разрешение 25

по глубине при измерении профилей концентрации

Применения 26

Исследование поверхности 26

Глубинные профили концентрации

27

Распределение частиц по поверхности, 27

микроанализ и объемный анализ

Заключение 27

Список литературы 29

Введение

Возможности получения сведений о составе внешнего атомного слоя

твердого тела значительно расширялись всвязи с разработкой и

усовершенствованием метода вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС) и

других методов. Большинство таких методов близки к тому, чтобы

анализировать саму поверхность, поскольку основная информация о составе

материала поступает из его приповерхностной области толщиной порядка 10А, а

чувствительность всех таких методов достаточна для обнаружения малых долей

моноатомного слоя большинства элементов.

Взаимодействие быстрых ионов с твердым телом приводит к выбиванию

атомов и молекул материала как в нейтральном, так и в заряженном состоянии.

На таком явлении сравнительного эффективного образования заряженных частиц